石墨乳,石墨粉,人造石墨

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半导体工业用石墨粉如何选择

2020-03-16 16:13:47

       石墨粉性能优良,应用广泛,在半导体工业中的应用是其中的一种。半导体工业对于所用石墨粉材料要求很高,纯度要越高越好,尤其是直接与半导体材料接触的石墨器件,比如烧结模等,杂质含量多会污染半导体材料,所以不光对所使用石墨原材料的纯度要严格控制,而且还要经过高温石墨化处理,使其灰分降到最低程度。

       半导体工业用石墨材料要求颗粒度要细,颗粒度细的石墨不但容易达到加工精度,并且高温强度高,损耗小,特别是用于烧结的模具要求加工精度很高。

       因为半导体工业所用的石墨器件(包括加热器和烧结模)都需要承受反复加热和冷却的过程,为了提高石墨器件的使用寿命,所使用的石墨材料要求在高温下具有良好的尺寸稳定性和耐热冲击性能。

      半导体工业用石墨材料在选择时一定要满足上述条件,严格按照要求选取,选择纯度高粒度细的石墨粉来使用。


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